清洗用超純水設備 主要采用的是將電滲析與離子交換有機結合的技術，可以有效的去除污染物以及深度除鹽，清洗用超純水設備是根據用戶的特殊需求設計生產的新型水處理設備，可以根據實際用量，調整設備的出水量，避免造成不必要的浪費。

清洗用超純水設備工藝大致分三種

1、采用離子交換方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點。
一種采用離子交換樹脂其優點在初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環境有一定的破壞性。

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透→PH調節→中間水箱→二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點。

二種采用兩級反滲透設備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但無須樹脂再生。其缺點在于相關膜原件需定期清洗或更換，水質相對來說不是太高，大都只能做到1us/cm左右，所以在水質要求更高的時候常采用一級反滲透后面再用混床(陰陽復床)把關。

3、采用EDI方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點。
三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水比較經濟和環保的超純水設備制備工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。其缺點在初投資相對以上兩種方式過于昂貴。